擁有自主的知識產權,生產自主可控
天津設立了半導體裝備研發和生產基地
擁有專業研發、生產、銷售、客戶服務團隊
專注于薄膜沉積設備的自主研發和工藝解決方案
應用于微電子、傳感器、汽車電子、光學及能源等領域
存量的客戶有研究所、國家重點實驗室、大學和芯片代工廠等"/>
集成電路、先進封裝、科研領域、功率半導體、新能源光伏、化合物半導體、硅基微型顯示、半導體顯示及照明 、平板顯示及智能自動化
Cluster - 單片水平濺射工藝
Cluster - 水平旋轉濺射工藝
Cluster - 共焦向下濺射工藝
磁控陰極
高均勻性基片架
高真空機械手臂
軟件升級和改造
硬件維護和維修
鍍膜工藝支持